Тензид 1.01-1.25 куска чистки/кремния низкой пены промышленный химической

Тензид 1.01-1.25 куска чистки/кремния низкой пены промышленный химической

Промышленное введение химической чистки

Очищенность поверхностей вафли необходимая необходимость для успешного изготовления цепи кремния ВЛСИ и УЛСИ. Химия чистки вафли имеет осталась существенно неизменной в прошлых 25 летах и основана на горячих алкалических и кислотных решениях перекиси водорода, процессе известном как «РКА стандартное очищает.» Это все еще основной метод используемый в индустрии. Что изменяло своя вставка с оптимизированным оборудованием: от простого погружения к центробежный распылять, мегасоник методам, и закрытой обработке системы которые позволяют одновременному удалению как фильмов, так и частиц загрязняющего елемента. Улучшения в засыхании вафли при помощи исопропанол испаряют или «медленной тягой ‐» из горячей деионизированной воды расследуйте. Несколько альтернативных методов чистки также испытываются, включая решения холина, химическое вытравливание пара, и обработки УВ/озоне.

Первый шаг: Растворитель чистый

Растворители использованы успешно для того чтобы извлечь масла и органические выпарки из поверхности кремниевых пластин. Пока растворитель извлекает загрязняющие елементы, они также выходят их собственная выпарка на поверхность вафли. Из-за этого, метод 2-растворителя использован для обеспечения что вафля как можно чиста.

Второй шаг: РКА-1 очищают

Позаботятся любой выпарке которая остатка от растворителя о с РКА чистым. РКА чистое окисляет кремний, таким образом снабжающ тонкий защитный слой окиси поверхность вафли.

Третий шаг: Погружение плавиковой кислоты

Заключительный шаг погружение плавиковой кислоты. Погружение ХФ использовано для того чтобы извлечь двуокись кремния из поверхности кремниевой пластины. ХФ сильно опасный химикат, поэтому важно, чтобы был сделан этот шаг пока носящ защитную шестерню как тяжелые перчатки и еевеар.

Промышленный химический параметр КлеанингТечникал

Промышленные инструкции химической чистки

1) положите чистую воду в танк чистки до трехчетвертного, тогда, добавьте агент в концентрации -5% 3%, добавьте воду до уровня деятельности, последнего, нагрейте решение ванны до работая температуры.

2) нужно изменить решение ванны совершенно после обсаливая определенного количества куска кремния.

3) уменьшите, который подвергли действию время в воздухе избежать оксидации.

4) работая степень температуры 50-65, время избавления: 2-5минутес.

Примечания

1) солнечный бар не может касаться воде, потребности окунуть в соликиод или обсаливая агенту если не смогите очистить во времени.

2) нужен бар избавления солнечный во времени как только он пришел в обсаливая процесс избежать воздушносухого.

3) держите солнечный бар влажным дегуминг для избежания воздушносухого.

4) для избежания части, нужно завершить работу с переключателем пузыря танка но1 и но2 когда ультразвуковой обсаливать, тогда, включает переключатель после фиксировать.

5) нужно изменить но5.6 и танк 7 после один обсаливать цикла.

6) куску кремния нельзя касаться. Работники должны работать с перчатками для избежания отпечатка пальцев.

7)для того чтобы достигнуть зазора, нужно распылить кусок кремния по крайней мере 30минюц перед обесклеиванием.

6. Добавления

1) паковать: 20кг/картон (2кг/боттле), 25кг/пластик бочонок, 1000кг/баррел

2) время ценности: один год