Группа промышленного решения чистки кремниевой пластины двойная в концентрате

Группа промышленного решения чистки кремниевой пластины двойная в концентрате

Наиболее эффектно чистые кремниевые пластины, изготовители силиконов рекомендуют следующий список шагов чистки:

Раздел одно: Растворитель чистый

Растворители пользы предприятий обрабатывающей промышленности полупроводника успешно для того чтобы извлечь масла и органические выпарки из поверхности кремниевых пластин. Пока растворители извлекают эти загрязняющие елементы, растворители сами фактически выходят выпарка на поверхность вафель также. По этой причине, метод 2-растворителя снабжен для обеспечения что вафля возвращена в освободившееся государство загрязняющего елемента. Метод раствора для уборки законспектирован ниже:

Подготовьте 2 ванны, одну стеклянную тару с ацетоном и другие с метанолом.

Установите контейнер ацетона на нагревательной плите для того чтобы нагреть ацетон к температуре не больше чем 55°К.

Как только теплый, выдержите кремниевую пластину в ванне ацетона на 10 минут.

После того как ванна ацетона закончена, извлеките кремниевую пластину и установите ее в контейнер метанола на 5 минут.

Как только время вверх, извлеките вафлю из метанола и ринсе в ДИ воде.

Высушивайте в струе воздуха кремниевая пластина с азотом.

Раздел 2: РКА-1 очищают

Те в обрабатывающей промышленности полупроводника после этого используют РКА чистое для того чтобы извлечь органическую выпарку. РКА чистое окисляет кремний и снабжает тонкий защитный слой окиси поверхность вафли. Метод чистки РКА-1 законспектирован ниже:

Начните подготовку ванны РКА путем совмещение 5 часть ДИ вода и 1 части нашатырного спирта (27%).

Установите контейнер РКА на нагревательной плите для того чтобы нагреть решение к температуре приблизительно 70°К.

Как только эта температура достигалась, извлеките контейнер из нагревательной плиты и добавьте 1 часть перекиси водорода (30%). Решение клокочет после минуты или 2.

Как только решение начинает клокотать, выдержите кремниевую пластину на приблизительно 15 минут.

Когда время вверх, извлеките вафлю из ванны РКА и установите ее в контейнер с ДИ водой, изменяя времена воды множественные совершенно прополоскать решение.

После этого процесса, извлеките вафлю из контейнера под текущей водой для обеспечения этому никакой выпарки от ручек поверхности воды к вафле.

Раздел 3: Погружение плавиковой кислоты (ХФ)

Предприятия обрабатывающей промышленности полупроводника после этого снабжают заключительный шаг, погружение ХФ, для того чтобы извлечь двуокись кремния из поверхности кремниевой пластины. Важно заметить что ХФ опасный химикат, поэтому изготовители силиконов рекомендуют эту защитную шестерню, как тяжелые перчатки и носка глаза, была несена во все времена во время этого шага. Процесс погружения ХФ законспектирован ниже:

Создайте контейнер погружения ХФ путем совмещение 480 мл воды с ХФ 20 мл. Всегда используйте беакер полипропилена в отличие от стеклянного беакер по мере того как знаны, что реагирует ХФ опасно приходя в контакт с любым стеклянным материалом.

После создания решения, выдержите кремниевую пластину на 2 минуты.

Как только время вверх, извлеките вафлю и ринсе под бегом ДИ воды.

Выполните тест смачиваемости путем лить ДИ воду на поверхности вафли. Если вода поворачивает в маленькие шарики и свертывает, то вы знаете что поверхность гидродобна и свободна окисей.

Высушивайте в струе воздуха кремниевая пластина с азотом.

Выполнять вышеуказанные шаги порекомендованные изготовителями силиконов поможет тем делам в обрабатывающей промышленности полупроводника преодолевать проблемы загрязнения к кремниевым пластинам.

Параметр решения чистки кремниевой пластины технический

Наша фабрика

Фабрика покрывает зону 26653 квадратных метров, конструкцию мастерской мастерской класса, класса к, класса к склад, склад и другие вспомогательные объекты. Включать больше чем 100 видов химических видов. Производственная мощность 11000 тонн/года.

Во-первых, профиль продукции компании

1. мастерская К-класса
К, 2#, 1# мастерская с 3#, производственные линии 7# 4, используя закрытое производственное оборудование, включая 1#, 2#, построчная продукция автоматизации 3#, и установил полностью автоматическую жидкостную заполняя линию 2, заполняя спецификации от консервной банки 1Л~25Л. Ингредиенты унесены в отдельной загерметизированной области. Согласно требованиям разнообразия продукта, комната центрального поста управления производственной линии К-класса оборудована со всеми видами аппаратур и датчиков для того чтобы сформировать множественность систем управления.

2. Класс мастерская
Класс мастерская с смесителем 3 валов и высокоскоростными наборами машины для получения дисперсий 3 2, профессиональные обеспечить все виды продукции краски и покрытия.

3. Склад к
Район конструкции склада к больше чем 3300 квадратных метров и имеет зону огня, может быть использован для классификации химического сырья и закончен - продукты.

4. Склад
Район конструкции 2 складов больше чем 1400 квадратных метров и имеет зону огня, может быть использован для а, категорий б химического сырья и закончен - хранение расклассифицированное продуктами.

5. Другие объекты
Фабрика имеет объекты очистки сточных вод профессионала, перерабатывающие мощности 20Т/д, после обработки нечистот по мере того как исправленная вода для продукции. Фабрика оборудована с 4 наборами оборудования обработки ненужного газа, всеми объектами обработки выхлопного газа после стандартов разрядки.